半導體生產(chǎn)工藝對無塵車間潔凈棚溫濕度要求
摘要：
潔凈棚的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。
百科凈化制作產(chǎn)品：凈化設備：潔凈棚、超凈工作臺、洗手池、風淋室、貨淋室、傳遞窗、FFU、BFU、高效送風口、層流罩、新風柜、采樣車、無塵衣柜等不銹鋼凈化制品。
耗材配件：初，中，高效過濾器、耐高溫過濾器、液槽式高效過濾器、回風百葉、調(diào)節(jié)閥、保溫軟管、法蘭等。
百科凈化專業(yè)從事凈化設備研發(fā)生產(chǎn)、安裝、維護的全面性技術(shù)服務的高科技企業(yè)。我們擁有強大的銷售團隊、眾多專業(yè)技術(shù)人才，貼心的售后服務。產(chǎn)品廣泛應用于光電、食品飲料、微電子、精密儀器、通訊通信、生物制藥、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗檢疫、航空航天、汽車制造、大專院校和科研教學等行業(yè)領(lǐng)域。公司本著誠信、團結(jié)、創(chuàng)新、持續(xù)發(fā)展的經(jīng)營理念致力于潔凈行業(yè)，堅持以客戶三個滿意為基本原則："產(chǎn)品質(zhì)量的滿意， 先進技術(shù)的滿意，售后服務的滿意 ",不斷加強企業(yè)內(nèi)部的綜合競爭力，公司在競爭中求發(fā)展，在挑戰(zhàn)中謀機遇。勤勞和真誠的我們愿與您攜手并進、共創(chuàng)輝煌！
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