潔凈室里存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。

以下介紹大型無塵室的環保節能方面：

　　無塵室在設計和建造之初很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。

　　對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。升級的投資收回率通常比直接購買新設備要高很多。大部分工廠設備翻新的投資回收期不超過兩年―― 也就是說，通常投資收回率至少是50%，對照投資新的固定資產，則只有10%到15%（即投資回收期需要七年時間）。這些情況降低了企業的競爭力和投資股東的興趣。在今天高度發達的工業中，無塵車間運行和產品設計一樣需要改革。

　　高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪費的能源比賣產品更能增加利潤，因為節約下來的錢在最終效益中馬上就能體現出來。雖然能源的成本占晶片產品成本占不到百分之二，但是電能卻是晶片制造商在運行中的開支卻是最大的，每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時，節能措施可以節約資本和建造時間。雖然初步設計報價昂貴，但是經濟翻新的可能性仍然存在。設備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。

①嚴格控制無塵車間的設計參數（潔凈度和溫濕度）和無塵車間的面積，尤其是十級、百級級這樣的高級別單向流無塵車間的面積。因為潔凈級別越高，溫濕度精度要求越高，單位面積能耗越大。因此，實事求是該高則高，不要無原則地提高要求。無塵車間的面積不要留太大余地。尤其是高級別的無塵車間面積，盡量采用混合流以低級別代替高級別無塵車間。盡量縮小十級、百級單向流無塵車間的面積。

②嚴格控制無塵車間的凈化送風量，不要留太大的安全系數。控制監督施工質量，減少潔凈室和管道的漏風量，加強保溫減少冷損失，提高設備效率盡量利用變頻措施以利節能。

③嚴格控制新風量。盡量降低排風量，采取措施提高排風效果，降低排風量以減少新風空調處理的能耗。

④加強管理。減少跑、冒、滴、漏。充分利用熱回收和天然能源做為空調系統的預冷和預熱。

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